1987年以前の三次元測定機には規格が無く、各メーカーが独自の検査手法で精度保証をおこなっていました。1987年に初めてJIS規格が制定され、続いて1997年にはISO規格（ISO10360-2：1994）を翻訳したJIS B 7440-2が制定されました。その後はISO10360-2の制定や改定を受けて表2-1のようにJIS規格も制定・改定を繰り返しています。2003年の改定においては、「不確かさ」という新しい概念が盛り込まれました。（「不確かさ」については、別途説明します。）
以上の経緯から、市場には様々な規格で精度保証された三次元測定機が混在しています。（旧規格で精度保証された三次元測定機は、規格が改定されたとしても旧規格による校正が継続されます。旧規格をもとに製造された三次元測定機には新規格での保証値が存在せず、校正による合否判定ができません。）また、基本的に規格が新しいほど、その評価内容は厳しくなっていますので、見た目の数字が同じでも保証できる精度が同じとは限りません。